1.分辨率與脈沖當(dāng)量 分辨力是指兩個(gè)相鄰的分散細(xì)節(jié)之間可以分辨的最小間隔。對(duì)觀測系統(tǒng)而言，分辨力是可以測量的最小增量：對(duì)控制系統(tǒng)而言，分辨力是可以控制的最小唯一位移量，最精密的數(shù)控系統(tǒng)的分辨力已達(dá)0.001um。數(shù)控裝置每發(fā)出一個(gè)脈沖信號(hào)，反應(yīng)到機(jī)床移動(dòng)部件上的移動(dòng)量，稱為脈沖當(dāng)量。脈沖當(dāng)量是設(shè)計(jì)數(shù)控機(jī)床的原始數(shù)據(jù)之一，其數(shù)值大小決定數(shù)控機(jī)床的極愛工精度和表面質(zhì)量。脈沖當(dāng)量越小。數(shù)控機(jī)床加工精度越高，加工表面質(zhì)量越好。簡易數(shù)控機(jī)床的脈沖當(dāng)量為0.01mm，普通數(shù)控機(jī)床的脈沖當(dāng)量為1um，精密度或超精精密數(shù)控才的脈沖當(dāng)量為0.1um
2.定位精度與重復(fù)定位精度 定位精度是指數(shù)控機(jī)床工作臺(tái)等移動(dòng)部件在確定的終點(diǎn)所達(dá)到的實(shí)際位置的精度，因此移動(dòng)部件實(shí)際與理想位置之間的誤差成為定位誤差。定位誤差包括伺服系統(tǒng)，檢測系統(tǒng)，進(jìn)給系統(tǒng)等誤差，好包括移動(dòng)部件導(dǎo)軌的幾何誤差等，定位誤差將直接影響零件加工的位置精度。
重復(fù)定位精度是指在同一臺(tái)數(shù)控機(jī)床上，應(yīng)用相同程序、相同代碼加工一批零件，所得到連續(xù)結(jié)果的一致程度，重復(fù)定位精度受伺服系統(tǒng)特性、進(jìn)給系統(tǒng)的間隙與剛性以及摩擦特性等因素的影響，一般情況下，重復(fù)定位精度是成正太分布的偶然性誤差，它影響一批零件加工的一致，是一項(xiàng)非常重要的性能指標(biāo)。
3.分度精度 分度精度是指分度工作臺(tái)在分度時(shí)，理論時(shí)要求回轉(zhuǎn)的角度值和實(shí)際回轉(zhuǎn)角度值的差值、生產(chǎn)效率以及刀具壽命的主要因素之一，同時(shí)還會(huì)對(duì)孔系加工的同軸度等造成一定的影響。
